原子吸收光譜儀測定多種元素，其氫化物發生器可對8種揮發性元素汞、砷、鉛、硒、錫、碲、銻、鍺等進行微痕量測定。原子吸收光譜儀是由光源、原子化系統、分光系統和檢測系統組成。現已廣泛用于冶金、地質、采礦、石油、輕工、農業、醫藥、衛生、食品及環境監測等方面的常量及微痕量元素分析。
原子吸收光譜儀主要由光源、原子化系統、分光系統及檢測系統四個主要部分組成：
(1)光源原子吸收光譜儀光源的作用是發射被測元素的特征共振輻射，用以提供原子從由基態躍遷到相應的激發態的光能。空心陰極燈是原子吸收光譜儀中應用廣泛的一種光源。包括一個空心圓筒形陰極和一個陽極，陰極由待測元素材料制成，陽極由鈦、鋯、鉭或其它材料制作，陰極和陽極封閉在帶有光學窗口的硬質玻璃管內(共振線波長在350nm以下應用石英材料)，管內充有壓強為0．1～0．7kPa的惰性氣體氖或氬。
(2)原子化系統原子化器的功能是提供能量，使試樣干燥、蒸發和原子化。入射光束在這里被基態原子吸收，因此也可把它視為“吸收池”。常用的原子化器有火焰原子化器和非火焰原子化器。相應的兩種儀器分別為火焰原子吸收光譜儀和石墨爐原子吸收光譜儀。
(3)分光系統分光系統又稱分光器，主要由色散元件如棱鏡或光柵、凹面鏡、入射和出射狹縫等組成，其作用是阻止來自原子化器內的所有不需要的輻射進入檢測器，將所需要的共振吸收線分離出來。分光器的關鍵部件是色散元件即單色器，現在商品儀器都是使用光柵。單色器的主要作用是將復合光分解成單色光或有一定寬度的譜帶。其作用原理是依據棱鏡或光柵的色散作用來分光的。
(4)檢測系統檢測系統由光電倍增管、放大器、對數轉換器、指示器(表頭、數顯器、記錄儀及打印機等)和自動調節、自動校準等部分組成，是將光信號轉變成電信號并進行測量的裝置。原子吸收光譜法中檢測器通常使用光電倍增管(PMT)。
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